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還有人做半導體嗎

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一十四 module

  fab有5大module,分別是litho,etch,thin film,imp,cmp和diff,其中etch又分為dry和wet,分別用等離子體和酸液做蝕刻主體,thin film分為pvd和cvd,區別在于是否有無化學反應做主體,diff和imp同時兼具退火之能,5家module協作,最終把芯片制造出來。

  另外5家module分別有工藝部和制造部對應,制造部又跟設備部相聯系,設備與環水材電等溝通,就形成了一個完備的制造車間。

  周四上午有兩個重要的會議,一個是與客戶的weekly meeting,一個是ye的defect meeting,其實主要是highlight各家module的問題,這個時候pie不是主題,但也要有人參與。

  孔明本來還不夠格,不過張偉臨時有事,就讓孔明當個樁子充數。

  會議室里是ye的主管王科在主持,另外還有2名工程師,其余的大都是module的人,pie算上孔明,有3個人參加。

  孔明坐在會議室的最后面,打起精神來要聽懂,卻還是覺得很迷糊。

   defect meeting一般是ye發現在某process之后有掃到defect,然后追溯清楚之后,就會打到某家module,如果該module解不掉,就要每周過來報進展,如果拖太久,還會被highlight到廠長那里,會被review的很慘。

  會議持續了一個多小時,孔明就記住了etch連續被highlight了兩次,而且被的很慘,孔明都有點同情他們了。

  最后一個case是cmp家的,做報告的人是文斌,他準備的報告非常長,看上去收了很多數據的樣子,最后他將問題歸結為設備parts有問題,已經責令設備部更換了。

  二科pie主管梁衡突然問:“這個機臺過多少wafer做PM?”

  文斌愣了一下,找書苑 www.zhaoshuyuan.com說了一堆自己家每天都在盯數據很辛苦之類就是說不清楚多少wafer之后做PM,最后還是同來的設備部工程師看不下去,替他回答了。

  梁衡又問:“翻到slides 15,都超了PM時間,為什么不做PM?”

  文斌有點失色,不情不愿,翻到slides 15,解釋說:“客戶的產品要的急,產能跟不上,沒有辦法,只好拖PM時間了。”

  梁衡又追問:“產能跟不上,是之前買設備的時候沒做評估?還是機臺滿載率沒做到?中間有沒有優化的空間?跟vendor聊過嗎?”

  文斌又是一陣囁嚅,又是設備工程師救駕,說已經在請vendor評估了,目前有兩個方案,一個是更新recipe,一個是優化派貨順序。

  梁衡皺起了眉頭:“更換recipe?誰同意做這個評估的,量產recipe你告訴我怎么更換?客戶會同意嗎?”

  這個問題設備工程師回答不出來,文斌擦了擦汗說:“會后再補充會后再補充。”

  果然如孔明所料,會議之后,文斌帶著3個工程師過來了,有機臺owner,有設備,有vendor,他們詳細解釋了即使更換recipe,也不會動到量產問題,只是程序的優化。

  梁衡聽完之后,說:“先找幾個lot試一下,別全上。”

  文斌見梁衡被說服,喜笑顏開的說:“你放心你放心,到時候肯定會請pie做評估的。”

  得,他又綁定了一家,有事一起抗,沒事大家笑哈哈。