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還有人做半導體嗎

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一十五 危機前奏

  就在周四的各種會議結束,跟平常一樣進入加班時間的時候,孔明以為再混3個小時加班費之后就可以回家睡覺了,本來他就是在強撐著,困爆了。

  他拉了一下新進來wafer的yield情況,突然一個激靈,沒有了絲毫困意。

  一片wafer顯示出了低良率,94.7%,并不算特別低,但在一堆98,99的wafer中間,就非常顯眼了。

  怎么回事?

  孔明連忙查看yield map,看是不是單片issue,一般來說,如果有special map,基本可以肯定是在某家機臺里出了故障,這個時候如果ye沒有掃到,wat inline沒有測到,那就有可能被放過去,到客戶或者封測廠那里才能發現問題。但是這類問題很難追溯,或許是機臺當時抽風,或許pm之后問題就沒了,類似無頭懸案也不是沒發生過。

   random分布!

  孔明看著這樣的yield map,再搭配上yield bin,他的頭皮一下子就麻了:“全是bin74。”

  孔明臉色發白,他趕緊走到魏延旁邊,說:“魏哥,壞事了,地球出事了。”

  因為周五沒有重要的會議,所以張偉等老板都會早早下班,這個時候辦公室里最資深的就是魏延了。

  魏延沒聽懂:“地球出啥事了?跟你有啥關系?”

  孔明打了一下自己的嘴,說:“是earth,有我帶的lot,有一片wafer yield特別低,bin74 loss了4帕。”緊張之下,孔明的語音翻譯系統失效,各種術語脫口而出。

  魏延畢竟是見過大世面的,并沒有驚慌,而是帶著一點古怪的笑意問:“看過map了嗎?”

  “看過了,random。”

   pie最煩random,random本身就意味著難以鎖定。

  魏延臉上的笑意消失了,他說:“看一下這片wafer的wat。”

   wat是出貨前的最后一道關,出貨沒有被卡下來,說明當時wat是符合rule的,不管這片wafer是因為符合wat rule而出貨結果出問題,還是wat沒測出來而出問題,都會是一個不小的問題。

  孔明趕緊跑到電腦前,將這片wafer前后一周左右測試的earth wafer全部導入,找書苑 www.zhaoshuyuan.com然后所有wat item做trend chart。

  看不出來任何異常!

  魏延站在孔明身后,臉色鄭重,他剛才去看了bin74的測試單元,這是一個跟Ioff相關的器件,如果漏電流異常,就容易出問題。

  但是wat trend chart為什么沒有反應出來呢?

  魏延讓孔明起身,自己專門看那些跟Ioff相關的item,即使拉大了去看,也看不出明顯的異常,你總不能強說沒有一點吧,都在spec里,不應該出現如此妖異的事情。

  “再疊一遍這片wafer的defect map吧。”魏延并沒有報太大希望,一般量產wafer都是抽測,而且因為產能問題,一些非必須的還去掉了,這更加大了事后定位問題的難度。

  孔明搗鼓了一陣,把top5相關的ye map全看了一遍,也沒有發現任何有強相關的線索。

  如果沒有指定性很強的線索,trouble shooting 難如登天。

  “再看一下inline,著重看一下ct之前有沒有機臺報警。”魏延沉著指揮。

  孔明快速掃過這片wafer的history,雖然找到了幾個懷疑的機臺warning,但沒有看到確鑿證據之前,這些東西沒有任何說服力。

  “先讓module查一下warning機臺的當時數據吧。”魏延喃喃自語,“希望不要出大亂子。”